Innovation possibilities of scintillation electron detector for SEM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F14%3A00434107" target="_blank" >RIV/68081731:_____/14:00434107 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Innovation possibilities of scintillation electron detector for SEM

Popis výsledku v původním jazyce

To evaluate performance of a scintillation detection system for SEM, it is necessary to consider many scintillator parameters. Various attributes of the scintillator for the SEM electron detector are listed in. The very important parameters are those affecting the detective quantum efficiency (DQE) which is primarily a measure of image noise. Not a less important indicator of image quality is the modulation transfer function (MTF) which describes the ability to show fine image details. Therefore, usinga scanning imaging system, the detector bandwidth, which is given especially by the scintillator decay time, is the key to the good MTF. Currently, the YAG:Ce single crystal scintillator (introduced already in 1978 having somewhat limiting decay characteristic is the most frequently used scintillator in the SEM. The aim of this paper is to outline possibilities of scintillator innovation to get the improved MTF and DQE.

Název v anglickém jazyce

Innovation possibilities of scintillation electron detector for SEM

Popis výsledku anglicky

To evaluate performance of a scintillation detection system for SEM, it is necessary to consider many scintillator parameters. Various attributes of the scintillator for the SEM electron detector are listed in. The very important parameters are those affecting the detective quantum efficiency (DQE) which is primarily a measure of image noise. Not a less important indicator of image quality is the modulation transfer function (MTF) which describes the ability to show fine image details. Therefore, usinga scanning imaging system, the detector bandwidth, which is given especially by the scintillator decay time, is the key to the good MTF. Currently, the YAG:Ce single crystal scintillator (introduced already in 1978 having somewhat limiting decay characteristic is the most frequently used scintillator in the SEM. The aim of this paper is to outline possibilities of scintillator innovation to get the improved MTF and DQE.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

18th International Microscopy Congres. Proceedings

ISBN

978-80-260-6720-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

Czechoslovak Microscopy Society

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

7. 9. 2014

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—