Nový scintilační detektor zpětně odražených elektronů pro nízkonapěťovou SEM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00088963" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00088963 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

New scintillation detector of backscattered electrons lor the low voltage SEM

Popis výsledku v původním jazyce

The new scintillation detector of backscattered electrons that is capable of working at primary beam energy as low as 0.5 keV is introduced. Low energy backscattered electrons are accelerated in order to generate a sufficient number of photons. Secondaryelectrons are deflected back by the energy filter so that the true compositional contrast of the specimen is obtained. The theoretical models of the detector function are described and first demonstration images are presented.

Název v anglickém jazyce

New scintillation detector of backscattered electrons lor the low voltage SEM

Popis výsledku anglicky

The new scintillation detector of backscattered electrons that is capable of working at primary beam energy as low as 0.5 keV is introduced. Low energy backscattered electrons are accelerated in order to generate a sufficient number of photons. Secondaryelectrons are deflected back by the energy filter so that the true compositional contrast of the specimen is obtained. The theoretical models of the detector function are described and first demonstration images are presented.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KJB200650501" target="_blank" >KJB200650501: Detekce signálních elektronů při nízkých energiích primárního svazku v rastrovací elektronové mikroskopii</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Microscopy

ISSN

0022-2720

e-ISSN

—

Svazek periodika

227

Číslo periodika v rámci svazku

-

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

24-29

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—