Zobrazování nevodivých vzorků pomocí nízkoenergiových zpětně odražených elektronů v SEM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00092374" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00092374 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Imaging of Non-Conductive Samples by Means of Low Energy Backscattered Electrons in SEM

Popis výsledku v původním jazyce

Article deals with the problems of imaging of non-conductive samples in the SEM that are caused mainly by charging. Use of the low primary beam energy and the observation by means of backscattered electrons are proposed as methods of suppression of charging artifacts in the image. Newly developed detector of backscattered electrons for the low energy SEM is described and images of uncoated non-conductive samples without charging artifacts taken by this detector are presented.

Název v anglickém jazyce

Imaging of Non-Conductive Samples by Means of Low Energy Backscattered Electrons in SEM

Popis výsledku anglicky

Article deals with the problems of imaging of non-conductive samples in the SEM that are caused mainly by charging. Use of the low primary beam energy and the observation by means of backscattered electrons are proposed as methods of suppression of charging artifacts in the image. Newly developed detector of backscattered electrons for the low energy SEM is described and images of uncoated non-conductive samples without charging artifacts taken by this detector are presented.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KJB200650501" target="_blank" >KJB200650501: Detekce signálních elektronů při nízkých energiích primárního svazku v rastrovací elektronové mikroskopii</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy

ISBN

978-80-239-9397-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

111-112

Název nakladatele

Czechoslovak Microscopy Society

Místo vydání

Prague

Místo konání akce

Prague

Datum konání akce

17. 6. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—