Přesný laserový interferometr s prostorovou stabilizací polohy laserových svazků

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00316633" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00316633 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

High-resolution laser interferometer with stabilized spatial position of laser beams

Popis výsledku v původním jazyce

In metrology applications of laser interferometers like a scale calibration of capacitive or inductive sensors, strictly linear positioning of the measuring mirror of the interferometer is necessary. It is maintained usually by a stage, which is based onprinciple of linear guide ways with ball carrier bearings. But possible imperfection of guides of the travel stage can cause deviations of the mirror plane from the right angle to the axis of traveling. Mentioned angle deviations lead to distortion of interference fringes in the output of the interferometer and by other words it causes non-linearity of the interferometer scale. We present a method, which eliminates the problem by a special configuration of the interferometer and continual monitoring ofspatial position of beams in the interferometer when the mirror is positioned. It works with condition that the mirror can be slightly tilted by piezoelectric actuators in servo-loop mode with respect to detected spatial position.

Název v anglickém jazyce

High-resolution laser interferometer with stabilized spatial position of laser beams

Popis výsledku anglicky

In metrology applications of laser interferometers like a scale calibration of capacitive or inductive sensors, strictly linear positioning of the measuring mirror of the interferometer is necessary. It is maintained usually by a stage, which is based onprinciple of linear guide ways with ball carrier bearings. But possible imperfection of guides of the travel stage can cause deviations of the mirror plane from the right angle to the axis of traveling. Mentioned angle deviations lead to distortion of interference fringes in the output of the interferometer and by other words it causes non-linearity of the interferometer scale. We present a method, which eliminates the problem by a special configuration of the interferometer and continual monitoring ofspatial position of beams in the interferometer when the mirror is positioned. It works with condition that the mirror can be slightly tilted by piezoelectric actuators in servo-loop mode with respect to detected spatial position.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

ICPM 2008 - International Conference on Precision Measurement

ISBN

978-3-938843-38-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

Technische Universität llmenau

Místo vydání

llmenau

Místo konání akce

Ilmenau

Datum konání akce

8. 9. 2008

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—