Novel instrumentation for interferometric nanoscale comparator

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F09%3A00335088" target="_blank" >RIV/68081731:_____/09:00335088 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Novel instrumentation for interferometric nanoscale comparator

Popis výsledku v původním jazyce

Presented paper deals with the description of subsystems of a novel interferometric nanocomparator. High speed digital quadrature detector based on digital signal controller is used here for processing of the X-Y signals from the detection unit of the interferometer. Digital filtering increases signal to noise ratio and allows achievement of sub-nanometer resolution and accuracy of the laser interferometer. The refractive index of the air is computed continuously from the current atmospheric values using Edlen's formula. High dynamic range of the mirror displacement setting is achieved using a two stage positioning system formed of a linear guide way and piezoelectric actuators. The linear guide way is used for open-loop coarse positioning with 50 nm accuracy and up to 100 mm of displacement. Piezoelectric actuators in servo-loop linked to the interferometer value are used for fine positioning with better than 1 nm accuracy over a 5 ?m range.

Název v anglickém jazyce

Novel instrumentation for interferometric nanoscale comparator

Popis výsledku anglicky

Presented paper deals with the description of subsystems of a novel interferometric nanocomparator. High speed digital quadrature detector based on digital signal controller is used here for processing of the X-Y signals from the detection unit of the interferometer. Digital filtering increases signal to noise ratio and allows achievement of sub-nanometer resolution and accuracy of the laser interferometer. The refractive index of the air is computed continuously from the current atmospheric values using Edlen's formula. High dynamic range of the mirror displacement setting is achieved using a two stage positioning system formed of a linear guide way and piezoelectric actuators. The linear guide way is used for open-loop coarse positioning with 50 nm accuracy and up to 100 mm of displacement. Piezoelectric actuators in servo-loop linked to the interferometer value are used for fine positioning with better than 1 nm accuracy over a 5 ?m range.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VI. (Proceedings of SPIE Vol. 7389)

ISBN

978-0-8194-7672-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

—

Název nakladatele

SPIE

Místo vydání

Bellingham

Místo konání akce

Munich

Datum konání akce

14. 6. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—