Interferometric Nanoscale Comparator

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F09%3A00335249" target="_blank" >RIV/68081731:_____/09:00335249 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Interferometric Nanoscale Comparator

Popis výsledku v původním jazyce

Presented paper describes a novel portable interferometric nanocomparator for calibraring displacement sensors in precision industry. Digital quadrature detector with high resolution based on a digital signal controller is used for processing the X-Y signals from the detection unit of the interferometer. Digital filtering increases signal to noise ratio and results in sub-nanometer resolution and accuracy of the laser interferometer. High dynamic range of the measuring mirror displacement is achieved using a two stage positioning system formed of a linear guide way and piezoelectric actuators.

Název v anglickém jazyce

Interferometric Nanoscale Comparator

Popis výsledku anglicky

Presented paper describes a novel portable interferometric nanocomparator for calibraring displacement sensors in precision industry. Digital quadrature detector with high resolution based on a digital signal controller is used for processing the X-Y signals from the detection unit of the interferometer. Digital filtering increases signal to noise ratio and results in sub-nanometer resolution and accuracy of the laser interferometer. High dynamic range of the measuring mirror displacement is achieved using a two stage positioning system formed of a linear guide way and piezoelectric actuators.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

MOC'09 - 15th Microoptics Conference

ISBN

978-4-86348-037-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

—

Název nakladatele

Microoptics Group (OSJ/JSAP)

Místo vydání

Tokyo

Místo konání akce

Tokyo

Datum konání akce

25. 10. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—