Comparison of techniques for diffraction grating topography analysis

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F10%3A00350662" target="_blank" >RIV/68081731:_____/10:00350662 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Comparison of techniques for diffraction grating topography analysis
Popis výsledku v původním jazyce
There are a wide range of analytical techniques which may be used for surface structure characterization. For high resolution surface investigations, two commonly used techniques are Atomic Force Microscopy (AFM) and Scanning Electron Microscopy (SEM). Both techniques are capable resolve surface structure down to the nanometer in scale. However the mechanism of topography imaging and type of information acquired is different.
Název v anglickém jazyce
Comparison of techniques for diffraction grating topography analysis
Popis výsledku anglicky
There are a wide range of analytical techniques which may be used for surface structure characterization. For high resolution surface investigations, two commonly used techniques are Atomic Force Microscopy (AFM) and Scanning Electron Microscopy (SEM). Both techniques are capable resolve surface structure down to the nanometer in scale. However the mechanism of topography imaging and type of information acquired is different.

Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation
ISBN
978-80-254-6842-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
—
Název nakladatele
Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Skalský dvůr
Datum konání akce
31. 5. 2010
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)