Our first step to direct writing XUV lithography(SPPT 24th.,2010)
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F10%3A00352880" target="_blank" >RIV/68081731:_____/10:00352880 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/61389021:_____/10:00352880
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Our first step to direct writing XUV lithography(SPPT 24th.,2010)
Popis výsledku v původním jazyce
Předneseno na konf.:24th Symposium on Plasma Physics and Technology,Prague,14-17.06.2010, : A "direct (i.e. ablation) patterning" of PMMA by pulse Ar8+ ion laser ( = 46,9 nm) was demonstrated. For focusing a long-focal spherical mirror (R = 2100 mm) covered by 14 double-layer Sc-Si coating was used. On the bottom of ablated crater a laser-induced periodic surface structure (LIPSS) with period 2,8 m and depth 5-10 nm was revealed. Through much smaller quadratic hole (7,5x7,5 m) in mask standing in contact with PMMA the 2D diffraction pattern with period down to 125 nm and depth 200 nm was ablated by a 5-shot-exposition.
Název v anglickém jazyce
Our first step to direct writing XUV lithography(SPPT 24th.,2010)
Popis výsledku anglicky
Předneseno na konf.:24th Symposium on Plasma Physics and Technology,Prague,14-17.06.2010, : A "direct (i.e. ablation) patterning" of PMMA by pulse Ar8+ ion laser ( = 46,9 nm) was demonstrated. For focusing a long-focal spherical mirror (R = 2100 mm) covered by 14 double-layer Sc-Si coating was used. On the bottom of ablated crater a laser-induced periodic surface structure (LIPSS) with period 2,8 m and depth 5-10 nm was revealed. Through much smaller quadratic hole (7,5x7,5 m) in mask standing in contact with PMMA the 2D diffraction pattern with period down to 125 nm and depth 200 nm was ablated by a 5-shot-exposition.
Klasifikace
Druh
O - Ostatní výsledky
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů