Approaches to the Collection Contrast in the Immersion Objective Lens of the Scanning Electron Microscope

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F12%3A00379916" target="_blank" >RIV/68081731:_____/12:00379916 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Approaches to the Collection Contrast in the Immersion Objective Lens of the Scanning Electron Microscope
Popis výsledku v původním jazyce
Signal trajectories of secondary (SE) and backscattered electrons (BSE) were simulated for two cases: an immersion magnetic objective lens alone and for the case when an electrostatic immersion objective lens is added. Micrographs of a semiconductor structure are presented for these two set-ups.
Název v anglickém jazyce
Approaches to the Collection Contrast in the Immersion Objective Lens of the Scanning Electron Microscope
Popis výsledku anglicky
Signal trajectories of secondary (SE) and backscattered electrons (BSE) were simulated for two cases: an immersion magnetic objective lens alone and for the case when an electrostatic immersion objective lens is added. Micrographs of a semiconductor structure are presented for these two set-ups.

Projekt
<a href="/cs/project/FR-TI3%2F323" target="_blank" >FR-TI3/323: *Nové kontrastní mechanismy v rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)