Strategie sběru sekundárních elektronů v REM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00089380" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00089380 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Strategies for Collection of Secondary Electrons in the SEM

Popis výsledku v původním jazyce

The standard way of secondary electron (SE) detection in the scanning electron microscope (SEM) is to use the Everhart-Thornley (ET) detector. Only weak electrostatic field attracts low energy SEs. Let us call this system the standard detector. Althoughthe ET detector has been around for more than fifty years, it remains the most frequently used type of detector in SEMs. Modern SEMs have improved their image resolution by so called immersion systems, allowing a strong magnetic field of the objective lens to penetrate into the specimen region. In that case, two ET detectors are usually used: one is located above the objective lens, and the other below it (upper and lower detector). The resulting contrast of the SE images depends on SE energy and on theangular sensitivity of detectors, which is a result of specific distributions of electrostatic and magnetic fields in the specimen region.

Název v anglickém jazyce

Strategies for Collection of Secondary Electrons in the SEM

Popis výsledku anglicky

The standard way of secondary electron (SE) detection in the scanning electron microscope (SEM) is to use the Everhart-Thornley (ET) detector. Only weak electrostatic field attracts low energy SEs. Let us call this system the standard detector. Althoughthe ET detector has been around for more than fifty years, it remains the most frequently used type of detector in SEMs. Modern SEMs have improved their image resolution by so called immersion systems, allowing a strong magnetic field of the objective lens to penetrate into the specimen region. In that case, two ET detectors are usually used: one is located above the objective lens, and the other below it (upper and lower detector). The resulting contrast of the SE images depends on SE energy and on theangular sensitivity of detectors, which is a result of specific distributions of electrostatic and magnetic fields in the specimen region.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KJB200650501" target="_blank" >KJB200650501: Detekce signálních elektronů při nízkých energiích primárního svazku v rastrovací elektronové mikroskopii</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Microscopy and Microanalysis

ISSN

1431-9276

e-ISSN

—

Svazek periodika

13

Číslo periodika v rámci svazku

Suppl. 3

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

78-79

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—