Detekční strategie pro sběr sekundárních elektronů v REM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00092207" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00092207 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Detection Strategies for Collection of Secondary Electrons in SEM

Popis výsledku v původním jazyce

In the scanning electron microscope (SEM), the secondary electrons (SE) are usually detected by the Everhart-Thornley (ET) type detector, using a weak electrostatic field to attract low energy SE let us call it the standard system. This principle is employed for more than forty years. Modern SEMs achieve their improved image resolution by allowing the strong magnetic field of the objective lens (OL) to penetrate to the specimen surface (so called immersion system). Two SE detectors are usually used in this case: one is below the OL just as the standard ET detector (lower detector) and the other is positioned above the OL (upper detector). The final contrast of SE images for the same specimen varies with the energy and angular sensitivity of the detectors, connected with specific distributions of the electrostatic and magnetic fields in the specimen region.

Název v anglickém jazyce

Detection Strategies for Collection of Secondary Electrons in SEM

Popis výsledku anglicky

In the scanning electron microscope (SEM), the secondary electrons (SE) are usually detected by the Everhart-Thornley (ET) type detector, using a weak electrostatic field to attract low energy SE let us call it the standard system. This principle is employed for more than forty years. Modern SEMs achieve their improved image resolution by allowing the strong magnetic field of the objective lens (OL) to penetrate to the specimen surface (so called immersion system). Two SE detectors are usually used in this case: one is below the OL just as the standard ET detector (lower detector) and the other is positioned above the OL (upper detector). The final contrast of SE images for the same specimen varies with the energy and angular sensitivity of the detectors, connected with specific distributions of the electrostatic and magnetic fields in the specimen region.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA102%2F05%2F2327" target="_blank" >GA102/05/2327: Přímé zobrazení rozložení dopantů v polovodiči pomocí pomalých elektronů</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy

ISBN

978-80-239-9397-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

91-92

Název nakladatele

Czechoslovak Microscopy Society

Místo vydání

Prague

Místo konání akce

Prague

Datum konání akce

17. 6. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—