Detekce signálu v rastrovacím elektronovém mikroskopu pomocí detektorů sekundárních elektronů

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00315454" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00315454 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Signal Collection with Secondary Electron Detectors in SEM

Popis výsledku v původním jazyce

The collection of secondary electrons (SE) was studied for microscopes where the magnetic field penetrates to the specimen surface and for the arrangement with the specimen region free of magnetic field. Collection efficiency of secondary electron detectors varies with their energy and angular sensitivity connected with electrostatic and magnetic field distribution in the specimen region which influences the contrast of SE images. The trajectories of SE with regard to their energy, angular distributionsare simulated and secondary electron detectors compared on the basis of calculated collection efficiency. For the verification of the simulated data the standard resolution-testing specimen with Au particles on a carbon substrate was used.

Název v anglickém jazyce

Signal Collection with Secondary Electron Detectors in SEM

Popis výsledku anglicky

The collection of secondary electrons (SE) was studied for microscopes where the magnetic field penetrates to the specimen surface and for the arrangement with the specimen region free of magnetic field. Collection efficiency of secondary electron detectors varies with their energy and angular sensitivity connected with electrostatic and magnetic field distribution in the specimen region which influences the contrast of SE images. The trajectories of SE with regard to their energy, angular distributionsare simulated and secondary electron detectors compared on the basis of calculated collection efficiency. For the verification of the simulated data the standard resolution-testing specimen with Au particles on a carbon substrate was used.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KJB200650602" target="_blank" >KJB200650602: Detekční systém pro záznam signálů čistých sekundárních nebo zpětně odražených elektronů v ESEM</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation

ISBN

978-80-254-0905-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Název nakladatele

Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Skalský dvůr

Datum konání akce

14. 7. 2008

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—