Vliv magnetického a elektrostatického pole v oblasti vzorku na trajektorie sekundárních elektronů v REM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109103" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109103 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Influence of magnetic and electrostatic fields in the specimen vicinity on trajectories of secondary electrons in SEM

Popis výsledku v původním jazyce

The Everhart-Thornley (ET) type detector is widely used in SEM for collection of secondary electrons (SE). At first glance the electrostatic field of the front grid, biased to a positive potential of several hundred volts, might be thought to attract allSE of kinetic energy below 50 eV or at least those emitted at 1-5 eV, i.e. near the SE spectrum peak. However, the detective quantum efficiency (DQE) of such detectors has been found significantly below one. Due to complicated distribution of electrostatic and magnetic fields around the specimen, which influence the SE trajectories, the DQE depends heavily on the collection efficiency (CE), i.e. the proportion of emitted species that impact on the detector. Preliminary simulations of electron trajectories indicated the CE values for the ET detector even below 0.1 for small working distances while more detailed results are reported here

Název v anglickém jazyce

Influence of magnetic and electrostatic fields in the specimen vicinity on trajectories of secondary electrons in SEM

Popis výsledku anglicky

The Everhart-Thornley (ET) type detector is widely used in SEM for collection of secondary electrons (SE). At first glance the electrostatic field of the front grid, biased to a positive potential of several hundred volts, might be thought to attract allSE of kinetic energy below 50 eV or at least those emitted at 1-5 eV, i.e. near the SE spectrum peak. However, the detective quantum efficiency (DQE) of such detectors has been found significantly below one. Due to complicated distribution of electrostatic and magnetic fields around the specimen, which influence the SE trajectories, the DQE depends heavily on the collection efficiency (CE), i.e. the proportion of emitted species that impact on the detector. Preliminary simulations of electron trajectories indicated the CE values for the ET detector even below 0.1 for small working distances while more detailed results are reported here

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/IAA1065304" target="_blank" >IAA1065304: Mnohokanálová spektro-mikroskopie pomalými a Augerovými elektrony</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Autumn School on Materials Science and Electron Microscopy 2004 - Emerging Microscopy for Advanced Materials Development: Imaging and Spectroscopy on Atomic Scale

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

"24/1"-"24/2"

Název nakladatele

Humboldt University of Berlin

Místo vydání

Berlin

Místo konání akce

Berlin

Datum konání akce

3. 10. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—