Sběrová účinnost Everhart-Thornley-ho detektoru sekundárních elektronů v REM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109031" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109031 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

The collection efficiency of the Everhart-Thornley detector of secondary electrons in SEM

Popis výsledku v původním jazyce

The Everhart-Thornley (ET) type detector is widely used in SEM for the collection of secondary electrons (SE). At first glance the electrostatic field of the front grid, biased to a positive potential of several hundred volts, might be thought to attractall SE of a kinetic energy below 50 eV or at least near the SE spectrum peak at 1 - 3 eV. However, the detection quantum efficiency (DQE) of such detectors has been found to be significantly lower than one. The DQE depends heavily on the collection efficiency (CE), i.e. the proportion of emitted species that impact on the detector. Preliminary simulations of electron trajectories indicated CE values for the ET detector even below 10 % for small working distances and more detailed results are reported here

Název v anglickém jazyce

The collection efficiency of the Everhart-Thornley detector of secondary electrons in SEM

Popis výsledku anglicky

The Everhart-Thornley (ET) type detector is widely used in SEM for the collection of secondary electrons (SE). At first glance the electrostatic field of the front grid, biased to a positive potential of several hundred volts, might be thought to attractall SE of a kinetic energy below 50 eV or at least near the SE spectrum peak at 1 - 3 eV. However, the detection quantum efficiency (DQE) of such detectors has been found to be significantly lower than one. The DQE depends heavily on the collection efficiency (CE), i.e. the proportion of emitted species that impact on the detector. Preliminary simulations of electron trajectories indicated CE values for the ET detector even below 10 % for small working distances and more detailed results are reported here

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/IAA1065304" target="_blank" >IAA1065304: Mnohokanálová spektro-mikroskopie pomalými a Augerovými elektrony</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

EMC 2004 - Proceedings of the 13th European Microscopy Congress

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

79-80

Název nakladatele

Belgian Society for Microscopy

Místo vydání

Liege

Místo konání akce

Antwerp

Datum konání akce

22. 8. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—