Faktory ovlivňující sběrovou účinnost sekundárních elektronů v REM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F05%3A00022403" target="_blank" >RIV/68081731:_____/05:00022403 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Factors affecting the Collection Efficiency of Secondary Electrons in SEM

Popis výsledku v původním jazyce

The Everhart-Thornley (ET) detector is the most often used type of secondary electron (SE) detector in the Scanning Electron Microscope (SEM). While the overall quality of the final image is influenced by all components of the detection channel, the collection efficiency (CE), which is defined as a ratio of collected SEs to all emitted ones, governs the image contrast and its signal to noise ratio. The detective quantum efficiency (DQE) of such detector has been found significantly below one. The main reason is in complicated distribution of electrostatic and magnetic fields in the specimen vicinity, which strongly influences the secondary electrons trajectories.

Název v anglickém jazyce

Factors affecting the Collection Efficiency of Secondary Electrons in SEM

Popis výsledku anglicky

The Everhart-Thornley (ET) detector is the most often used type of secondary electron (SE) detector in the Scanning Electron Microscope (SEM). While the overall quality of the final image is influenced by all components of the detection channel, the collection efficiency (CE), which is defined as a ratio of collected SEs to all emitted ones, governs the image contrast and its signal to noise ratio. The detective quantum efficiency (DQE) of such detector has been found significantly below one. The main reason is in complicated distribution of electrostatic and magnetic fields in the specimen vicinity, which strongly influences the secondary electrons trajectories.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/IAA1065304" target="_blank" >IAA1065304: Mnohokanálová spektro-mikroskopie pomalými a Augerovými elektrony</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings - Microscopy Conference 2005 - Dreiländertagung /6./

ISBN

1019-6447

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

48

Název nakladatele

Paul Scherrer Institute

Místo vydání

Villigen

Místo konání akce

Davos

Datum konání akce

28. 8. 2005

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—