Collection contrast in the immersion objective lens of the scanning electron microscope
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F12%3A00379933" target="_blank" >RIV/68081731:_____/12:00379933 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68081731:_____/12:00386394
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Collection contrast in the immersion objective lens of the scanning electron microscope
Popis výsledku v původním jazyce
Signal trajectories of secondary (SE) and backscattered electrons (BSE) were simulated for two cases: an immersion magnetic objective lens (OL) alone and for the case when an electrostatic immersion objective lens is added. Micrographs of a semiconductorstructure are presented for these two set-ups.
Název v anglickém jazyce
Collection contrast in the immersion objective lens of the scanning electron microscope
Popis výsledku anglicky
Signal trajectories of secondary (SE) and backscattered electrons (BSE) were simulated for two cases: an immersion magnetic objective lens (OL) alone and for the case when an electrostatic immersion objective lens is added. Micrographs of a semiconductorstructure are presented for these two set-ups.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/FR-TI3%2F323" target="_blank" >FR-TI3/323: *Nové kontrastní mechanismy v rastrovacím elektronovém mikroskopu</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation
ISBN
978-80-87441-07-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
2
Strana od-do
49-50
Název nakladatele
Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Skalský dvůr
Datum konání akce
25. 6. 2012
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—