Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Nanometrology coordinate measurement machines uncertainties caused by frequency fluctuations of the laser

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F12%3A00385784" target="_blank" >RIV/68081731:_____/12:00385784 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Nanometrology coordinate measurement machines uncertainties caused by frequency fluctuations of the laser

  • Popis výsledku v původním jazyce

    One of considerable sources of displacement measurement uncertainty in nanometrology systems such as multidimensional interferometric positioning for local probe microscopy is the influence of amplitude and especially frequency noise of a laser source which powers the interferometers. We investigated the noise properties of several laser sources suitable for interferometry for micro- and nano-CMMs (coordinate measurement machines) and compared the results with the aim to find the best option. The influences of amplitude and frequency fluctuations were compared together with the noise and uncertainty contributions of other components of the whole measuring system. Frequency noise of investigated laser sources was measured by two approaches ? at first with the help of frequency discriminator (Fabry-Perot resonator) converting the frequency (phase) noise into amplitude one and then directly through the measurement of displacement noise at the output of the interferometer fringe detection

  • Název v anglickém jazyce

    Nanometrology coordinate measurement machines uncertainties caused by frequency fluctuations of the laser

  • Popis výsledku anglicky

    One of considerable sources of displacement measurement uncertainty in nanometrology systems such as multidimensional interferometric positioning for local probe microscopy is the influence of amplitude and especially frequency noise of a laser source which powers the interferometers. We investigated the noise properties of several laser sources suitable for interferometry for micro- and nano-CMMs (coordinate measurement machines) and compared the results with the aim to find the best option. The influences of amplitude and frequency fluctuations were compared together with the noise and uncertainty contributions of other components of the whole measuring system. Frequency noise of investigated laser sources was measured by two approaches ? at first with the help of frequency discriminator (Fabry-Perot resonator) converting the frequency (phase) noise into amplitude one and then directly through the measurement of displacement noise at the output of the interferometer fringe detection

Klasifikace

  • Druh

    D - Stať ve sborníku

  • CEP obor

    BH - Optika, masery a lasery

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2012

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název statě ve sborníku

    NANOCON 2012, 4th International Conference Proceedings

  • ISBN

    978-80-87294-32-1

  • ISSN

  • e-ISSN

  • Počet stran výsledku

    6

  • Strana od-do

    811-816

  • Název nakladatele

    TANGER Ltd

  • Místo vydání

    Ostrava

  • Místo konání akce

    Brno

  • Datum konání akce

    23. 10. 2012

  • Typ akce podle státní příslušnosti

    WRD - Celosvětová akce

  • Kód UT WoS článku