What is the buzz about the TZ mode

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F12%3A00386391" target="_blank" >RIV/68081731:_____/12:00386391 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

What is the buzz about the TZ mode

Popis výsledku v původním jazyce

This contribution deals with an e-beam pattern generator BS 600 that works with a variable rectangular spot of electrons (stamp). The TZ stands for the technology zoom?; its meaning is a reduction of the spot size by a factor of 3. Original description of the TZ exposure mode can be found in (1), [2] and [3]; further aspects concerning the exposure system and its electron source were described in [4] and [5]; technology and related topics are discussed in [6], [7], [8] and [9]; overview of application areas is in [10], [11] and [12]; and finally, very recent results are summarized in [13], [14] and [15].

Název v anglickém jazyce

What is the buzz about the TZ mode

Popis výsledku anglicky

This contribution deals with an e-beam pattern generator BS 600 that works with a variable rectangular spot of electrons (stamp). The TZ stands for the technology zoom?; its meaning is a reduction of the spot size by a factor of 3. Original description of the TZ exposure mode can be found in (1), [2] and [3]; further aspects concerning the exposure system and its electron source were described in [4] and [5]; technology and related topics are discussed in [6], [7], [8] and [9]; overview of application areas is in [10], [11] and [12]; and finally, very recent results are summarized in [13], [14] and [15].

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation

ISBN

978-80-87441-07-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

37-38

Název nakladatele

Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Skalský dvůr

Datum konání akce

25. 6. 2012

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—