Modernizovaný elektronový litograf pro optické difraktivní struktury

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F06%3A00094701" target="_blank" >RIV/68081731:_____/06:00094701 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Modernizovaný elektronový litograf pro optické difraktivní struktury

Popis výsledku v původním jazyce

Elektronový litograf BS601M je elektronově-optické zařízení vyvinuté a optimalizované pro výrobu difraktivních optických struktur. Na elektronovém litografu se přímou ezpozicí elektronovým svazkem do rezistu naneseného na Si-podložce exponují mikrostruktury, které se používají jako mastery v následné technologii výroby holografických struktur. Elektronový litograf pracuje s konstantním urychlovacím napětím 15 kV, pravoúhlým tvarovatelným svazek od (50 H 50) nm do (3150 H 3150) nm s krokem 50 nm, s vychylovacím polem (3 H 3) mm s krokem 50 nm a s maximální exponovatelná oblast je (100 H 80) mm. Rychlost typické expozice (600 mil. razítek H 30 H 30 mm) je 2.5 hodiny.

Název v anglickém jazyce

Electron-beam writing system for diffractive optical elements

Popis výsledku anglicky

Electron beam writing system BS601M is an electron-optical device designed and optimised for exposure of diffraction optical elements. The electron beam writing system produces microstructures by direct exposure of electron resist on Si substrate. Thesemicrostructures are used as a masters in a technology of holographic structurures production. Electron beam writing system uses fixed energy of 15 keV, a shaped rectangular variable-size electron beam ranging from (50 H 50) nm do (3150 H 3150) nm with step 50 nm, a scan field (3 H 3) mm with deflection step 50 nm and maximum area of exposure (100 H 80) mm. Typical exposure takes 2.5 hours (600 mil. stamps H 30 mm H 30 mm ).

Druh

Z_x - Nezařazeno - Poloprovoz, ověřená technologie, odrůda, plemeno

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

65701

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Urychlovací napětí elektronové trysky 15 kV.

Ekonomické parametry

Elektronový litograf BS601M byl nainstalován ve firmě Optaglio v červenci roku 2006 kde nahradil obdobné zastaralé zařízení s horšími parametry.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

68081731

Název vlastníka

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—