Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F09%3A00336579" target="_blank" >RIV/68081731:_____/09:00336579 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Elektronový litograf s urychlovacím napětím 15kV a tvarovaným svazkem do 25nm - BS600/TZ-0
Popis výsledku v původním jazyce
Elektronový litograf BS600/TZ-0 je elektronově-optické zařízení vyvinuté a optimalizované pro výrobu reliéfních mikrostrukltur se submikronovým rozlišením. Elektronový litograf pracuje s konstantním urychlovacím napětím 15 kV, pravoúhlým tvarovatelným svazkem, jehož velikost lze nastavit nezávisle v obou směrech od 25 nm do 3150 nm s krokem 25 nm, s vychylovacím polem 3,2 mm x 3,2 mm s krokem 50 nm. Vzájemná orientace souřadnic tvarování a vychylování je 30 stupňů.
Název v anglickém jazyce
E-Beam Writer at 15kV with Shaped Electron Beam of Minimum Size 25nm BS600/TZ-0
Popis výsledku anglicky
The e-beam writer BS600/TZ-0 is an electron-optical systém developed and optimized for production of relief microstructures with a sub-micron resolution. The e-beam writer is operating at a constant accelerating voltage of 15 kV, rectangular shaped beamof variable size adjustable in the range 25-3150 nm with a step of 25 nm, and a deflection module scanning the beam position within the field of 3.2 mm x 3.2 mm at resolution of 50 nm. Mutual orientation of shaping axes and deflection axes is 30 degree.

Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
6241
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Velikost svazku: 25-3150 nm. Otočení souřadnic tvarování: -30 stupňů. Proudová hustota ve svazku (min ? střed - max): 0,8 ? 1,6 ? 4,8 A/cm2.
Ekonomické parametry
Zmenšení velikosti svazku umožňuje dosáhnout vyššího rozlišení, což umožnilo realizovat struktury dříve nerealizovatelné.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68081731
Název vlastníka
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Požadavek na licenční poplatek
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)