SMV-2012-12: Testovací preparát pro SEM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F12%3A00426267" target="_blank" >RIV/68081731:_____/12:00426267 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

SMV-2012-12: Testovací preparát pro SEM

Popis výsledku v původním jazyce

Výzkum a vývoj v oblasti přípravy testovacích struktur reliéfního typu na křemíkovém čipu. Využití pro testování metriky elektronových rastrovacích mikroskopů a kalibrací zorného pole. Čip je připraven pomocí elektronové litografie a dalších technik.

Název v anglickém jazyce

SMV-2012-12: Testing specimens for SEM

Popis výsledku anglicky

Research and development in the field of relief testing structures on Silicon wafer. The specimen is to be used for testing of metrics of scanning electron microscopes (SEM) as well as for the calibration of the SEM view of field. The samples are prepared by means of electron-beam lithography and related techniques.

Druh

V_souhrn - Souhrnná výzkumná zpráva

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Počet stran výsledku

5

Místo vydání

Brno

Název nakladatele resp. objednatele

TESCAN ORSAY HOLDING, a.s

Verze

—