SMV-2012-01: Testovací preparát pro SEM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F12%3A00426229" target="_blank" >RIV/68081731:_____/12:00426229 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

SMV-2012-01: Testovací preparát pro SEM

Popis výsledku v původním jazyce

Výzkum a vývoj v oblasti přípravy testovacích struktur reliéfního typu na křemíkovém substrátu. Využití pro testování metriky (rozměrů a ortogonality) elektronových rastrovacích mikroskopů a pro kalibraci zorného pole mikroskopu. Vzorky jsou připraveny hromadně na křemíkovém substrátu pomocí elektronové litografie a souvisejících technik, a dále dokončeny individuálními operacemi na úrovni jednotlivých čipů. Související výzkum a vývoj v oblasti kontroly a validace přesnosti a tolerance mikro rozměrů; kalibrační certifikát.

Název v anglickém jazyce

Testing specimens for SEM

Popis výsledku anglicky

Research and development in the field of relief testing structures on Silicon wafer. The specimen is to be used for testing of metrics (dimensions and orthogonality) of scanning electron microscopes (SEM) as well as for the calibration of the SEM view offield. A set of samples is prepared on a Silicon wafer by means of electron-beam lithography and related techniques. The specimens are individually finalized. Related research and development in the field of accuracy assessment and control as well as tolerance measurements in the micron domain; Calibration Certificate.

Druh

V_souhrn - Souhrnná výzkumná zpráva

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Počet stran výsledku

5

Místo vydání

Brno

Název nakladatele resp. objednatele

—

Verze

—