SMV-2023-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F23%3A00579072" target="_blank" >RIV/68081731:_____/23:00579072 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
SMV-2023-06: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Popis výsledku v původním jazyce
Studie se zaměřuje na výzkum a vývoj přesných kalibračních vzorků s reliéfními strukturami. Tyto vzorky jsou navrženy ke kalibraci zobrazování ve skenovacích elektronových mikroskopech (SEM). Testovací vzory umožňují ověření a kalibraci zvětšení, ortogonality a geometrického zkreslení. Příprava kalibračních vzorků využívá mikro litografické techniky přizpůsobené pro zpracování křemíku a dalších související technologické postupy.
Název v anglickém jazyce
SMV-2023-06: Development of test specimens for SEM
Popis výsledku anglicky
The study focuses on the research and development of precise calibration samples featuring relief structures. These samples are designed for calibrating parameters in scanning electron microscopes (SEM). The testing patterns enable the verification and calibration of magnification, orthogonality, and geometric distortion. The preparation of calibration specimens utilizes micro lithographic techniques tailored for silicon processing and other relevant technological procedures.

Rok uplatnění
2023
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Podobné výsledky(10)