SMV-2022-57: Vývoj testovacích preparátů pro REM

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F22%3A00566446" target="_blank" >RIV/68081731:_____/22:00566446 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
SMV-2022-57: Vývoj testovacích preparátů pro REM
Popis výsledku v původním jazyce
Výzkum, vývoj a realizace rozměrově přesných vzorků s reliéfními strukturami. Vzorky jsou určeny pro kalibraci parametrů rastrovacích elektronových mikroskopů (REM). Motivy struktur umožňují kontrolu a kalibraci zvětšení, pravoúhlosti a geometrického zkreslení. Pro přípravu preparátů jsou vyvíjeny mikro litografické techniky opracování křemíku a další související technologické postupy.
Název v anglickém jazyce
SMV-2022-57: Development of test specimens for SEM
Popis výsledku anglicky
Research and development of accurate calibration samples with relief structures. The samples are intended for parameter calibration of scanning electron microscope (REM). Testing patterns allow to check and calibrate magnification, orthogonality and geometric distortion. Micro lithographic techniques for silicon processing and other related technological processes have been developed for the calibration specimen preparation.

Rok uplatnění
2022
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Podobné výsledky(10)