Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F13%3A00397634" target="_blank" >RIV/68081731:_____/13:00397634 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1116/1.4802920" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1116/1.4802920</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1116/1.4802920" target="_blank" >10.1116/1.4802920</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper, the authors present a modified knife-edge method for two-dimensional current density mapping in electron-beam writing systems. This method is applicable in rectangular and in variable-shaped e-beam writers with a fixed mutual position of the e-beam and the 1st shutter during exposure. In contrast to other methods, the modified knife-edge method uses only native parts of the e-beam writer, giving it the advantage of easy implementation. The measurement error of our method is analyzed and the trade-off between the result accuracy, the current density resolution and the measurement duration is discussed. The presented method is demonstrated by adjusting an electron emitter in order to select a homogeneous e-beam pattern.

Název v anglickém jazyce

Modified knife-edge method for current density distribution measurements in e-beam writers

Popis výsledku anglicky

In this paper, the authors present a modified knife-edge method for two-dimensional current density mapping in electron-beam writing systems. This method is applicable in rectangular and in variable-shaped e-beam writers with a fixed mutual position of the e-beam and the 1st shutter during exposure. In contrast to other methods, the modified knife-edge method uses only native parts of the e-beam writer, giving it the advantage of easy implementation. The measurement error of our method is analyzed and the trade-off between the result accuracy, the current density resolution and the measurement duration is discussed. The presented method is demonstrated by adjusting an electron emitter in order to select a homogeneous e-beam pattern.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Vacuum Science & Technology B

ISSN

1071-1023

e-ISSN

—

Svazek periodika

31

Číslo periodika v rámci svazku

3

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

"031603:1"-"6"

Kód UT WoS článku

000320130500054

EID výsledku v databázi Scopus

—