Nanoposuvné stolky s velkým rozsahem polohování pro AFM mikroskopii

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F13%3A00421281" target="_blank" >RIV/68081731:_____/13:00421281 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Nanoposuvné stolky s velkým rozsahem polohování pro AFM mikroskopii

Popis výsledku v původním jazyce

Nanopolohovací stolky pro mikroskopii atomárních sil (AFM) musí splňovat několik důležitých úkolů během procesu skenování. Především musejí zajistit polohování ve dvou souřadných osách (X a Y) a zároveň nesou testovaný vzorek, který je pak postupně posouván v těchto dvou osách přes místo, kde je umístěna detekční sonda. V případě AFM mikroskopie jde o specializovaný hrot, kterým je provedena inspekce celého povrchu vzorku v ose Z, za současného synchronizovaného pohybu v osách X a Y. Délkové rozlišení vose Z sahá díky principu AFM mikroskopie až do subnanometrové oblasti. Proto je vyžadováno rozlišení polohy vzorku v ose X a Y také obvykle nejméně v řádu nanometrů. Tento kritický parametr je však navíc komplikován požadavkem, aby rozsah polohování v obou osách X a Y byl srovnatelný s velikostí vzorku. Běžné komerční nanoposuvné stolky dosahují maximálního rozsahu vychýlení v řádu několika set mikrometrů, zatímco vhodný rozsah se pohybuje v řádu jednotek milimetrů. V případě uvedených

Název v anglickém jazyce

Nano-stage with a large range of positionig for AFM microscopy

Popis výsledku anglicky

We present a new concept of long-range positioning stage for scanning probe microscopy. We developed the stuck planchet moving stage where X-Y axes of positioning are controlled by two incremental piezoelectric actuators. We demonstrated moving range upto 7 mm of positioning in both axes. The absolute position of the stage is measured by two optical linear encoders. The resolution of the positioning is about 10 nm.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Sborník příspěvků multioborové konference LASER53

ISBN

978-80-87441-10-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

17-18

Název nakladatele

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Třešť

Datum konání akce

30. 10. 2013

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—