SMV-2013-29: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F13%3A00426279" target="_blank" >RIV/68081731:_____/13:00426279 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
SMV-2013-29: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému
Popis výsledku v původním jazyce
Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému střídajícího ve dvouvrstvách molybden a křemík vytvořeného magnetronovým naprašováním tak, aby drsnost rozhraní uvedených vrstev nepřesahovala 0,2 nanometry a reprodukovatelnost tlouštěk dvouvrstev byla lepší než jedna desetina nanometru pro experimenty v rentgenovém laseru PALS. 0,2 nanometry.
Název v anglickém jazyce
SMV-2013-29: Deposition technology and implementation of multilayer system
Popis výsledku anglicky
We have developed deposition technology and implementation of multilayer system of molybdenum and silicon prepared by magnetron sputtering. Interface roughness has to be smaller than 0.2 nm and reproducibility of bilayer thickness (i.e. molybdenum and silicon) must be better that 0.1nm. This multilayer system was used as a mirror in x-ray laser PALS.
Klasifikace
Druh
V<sub>souhrn</sub> - Souhrnná výzkumná zpráva
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju
Ostatní
Rok uplatnění
2013
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Počet stran výsledku
3
Místo vydání
Brno
Název nakladatele resp. objednatele
—
Verze
—