In-beam tracking refractometry for coordinate interferometric measurement
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F14%3A00434169" target="_blank" >RIV/68081731:_____/14:00434169 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2052920" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1117/12.2052920</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2052920" target="_blank" >10.1117/12.2052920</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
In-beam tracking refractometry for coordinate interferometric measurement
Popis výsledku v původním jazyce
We propose to extend the principle of compensation of the fluctuations of the refractive index of air through monitoring the optical length within the measuring range of the displacement measuring interferometer. The concept is derived form a tracking refractometry evaluating the refractive index of air in the beam axis coinciding with the positioning interferometer. Application of this approach in multi-axis positioning and measurement mans to compromise the principle of spatial unity of the displacement measuring laser beam and the beam of the tracking refractometer. In this contribution we evaluate the level of uncertainty associated with the spatial shift of these two beams. Consequently the nature of the fluctuations of the refractive index of airin laser interferometry is investigated and discussed with the focus on potential applications in coordinate measuring systems and long-range metrological scanning probe microscopy systems.
Název v anglickém jazyce
In-beam tracking refractometry for coordinate interferometric measurement
Popis výsledku anglicky
We propose to extend the principle of compensation of the fluctuations of the refractive index of air through monitoring the optical length within the measuring range of the displacement measuring interferometer. The concept is derived form a tracking refractometry evaluating the refractive index of air in the beam axis coinciding with the positioning interferometer. Application of this approach in multi-axis positioning and measurement mans to compromise the principle of spatial unity of the displacement measuring laser beam and the beam of the tracking refractometer. In this contribution we evaluate the level of uncertainty associated with the spatial shift of these two beams. Consequently the nature of the fluctuations of the refractive index of airin laser interferometry is investigated and discussed with the focus on potential applications in coordinate measuring systems and long-range metrological scanning probe microscopy systems.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Optical Micro- and Nanometrology V. (Proceedings of SPIE 9132)
ISBN
—
ISSN
0277-786X
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
"91321K: 1"-"7"
Název nakladatele
SPIE
Místo vydání
Bellingham
Místo konání akce
Brussels
Datum konání akce
15. 4. 2014
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
000345034500051