Air flow and length noise in displacement interferometry

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F14%3A00441268" target="_blank" >RIV/68081731:_____/14:00441268 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2176179" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1117/12.2176179</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1117/12.2176179" target="_blank" >10.1117/12.2176179</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Air flow and length noise in displacement interferometry

Popis výsledku v původním jazyce

We report on an evaluation of the influence that fast changes of the refractive index has on the uncertainty of interferometric displacement measurement. Measurement of position within a limited range is typical for coordinate measuring systems such as nanometrology standards combining scanning probe microscopy (SPM) with precise positioning. For long-range systems the varying refractive index of air contributes the most to the overall uncertainty. We proposed to extend the principle of compensation ofthe fluctuations of the refractive index of air through monitoring the optical length within the measuring range of the displacement measuring interferometer. In this contribution we evaluate the level of uncertainty associated with the nature of the fluctuations of the refractive index of air in laser interferometry. We have observed that its fast variations, seen as length noise, are not linearly proportional to the measuring beam path but play a significant role only over distances lo

Název v anglickém jazyce

Air flow and length noise in displacement interferometry

Popis výsledku anglicky

We report on an evaluation of the influence that fast changes of the refractive index has on the uncertainty of interferometric displacement measurement. Measurement of position within a limited range is typical for coordinate measuring systems such as nanometrology standards combining scanning probe microscopy (SPM) with precise positioning. For long-range systems the varying refractive index of air contributes the most to the overall uncertainty. We proposed to extend the principle of compensation ofthe fluctuations of the refractive index of air through monitoring the optical length within the measuring range of the displacement measuring interferometer. In this contribution we evaluate the level of uncertainty associated with the nature of the fluctuations of the refractive index of air in laser interferometry. We have observed that its fast variations, seen as length noise, are not linearly proportional to the measuring beam path but play a significant role only over distances lo

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Optics and Measurement Conference 2014 (Proceedings of SPIE 9442)

ISBN

9781628415575

ISSN

0277-786X

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

"94420D: 1"-"7"

Název nakladatele

SPIE

Místo vydání

Bellingham

Místo konání akce

Liberec

Datum konání akce

7. 10. 2014

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—