Studium chování proudění vzduchu přes délkový šum při interferometrickém měření

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F14%3A00434549" target="_blank" >RIV/68081731:_____/14:00434549 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Studium chování proudění vzduchu přes délkový šum při interferometrickém měření

Popis výsledku v původním jazyce

Měřit s nanometrovou přesností je v posledních deseti letech klíčová výzva, které se objevila v oblasti metrologie délky. Mezinárodní projekt s názvem ?NANOTRACE?, který sdružuju renomované laboratoře EU, se snažil prolomit limity rozlišení v laserové interferometrii. Metody, které byly zkoumané, prokázaly, že lze dosáhnout významného zlepšení v rozlišení laserové interferometrie. Navrhované nanometrologické systémy si kladou za cíl zvýšit rozlišení a najít cesty, jak potlačit zdroje nejistot v měření ato do subnanometrové oblasti. Za předpokladu měření v atmosféře patří fluktuace indexu lomu vzduchu mezi největší zdroje nejistot při interferometrickém měření. Měření polohy v omezeném rozsahu je typické pro souřadnicové měřící systémy. V nanometrologii je takovým standardem mikroskop skenující sondou s přesným odměřováním polohy. Proto jsme se rozhodli rozšířit koncept kompenzace fluktuací indexu lomu vzduchu přes sledování optické délky uvnitř měřícího rozsahu interferometru měřícího

Název v anglickém jazyce

Study of behavior of the refractive index fluctuations to the lenght noise in displacement interferometry

Popis výsledku anglicky

Nanoscale measurement became one of the key challenges in the field of metrology in last ten years. The international project launched called ?Nanotrace where renowned EU laboratories including the proposer of this project were trying to break the limitsof resolution in interferometry. Techniques investigated here have proven that there are chances to achieve significant improvements in resolution of laser interferometry. Measurement of position within a limited range is typical for coordinate measuring system such as nanometrology standards combining scanning probe microscopy (SPM) with precise positioning. In this contribution we evaluate the level of uncertainty associated with spatial shift of two measuring beams and spatial shift of one measuringbeam (change of length the measuring beam). Consequently the nature of the fluctuations of the refractive index of air in laser interferometry is investigated anddiscussed with the focus on potential applications in coordinate measuring

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Sborník příspěvků multioborové konference Laser54

ISBN

978-80-87441-13-8

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

16-17

Název nakladatele

Ústav přístrojové techniky AV ČR

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Třešť

Datum konání akce

29. 10. 2014

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—