Interferometrická sestava pro diferenční měření vzdálenosti

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F14%3A00473642" target="_blank" >RIV/68081731:_____/14:00473642 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68081731:_____/14:00500966

Výsledek na webu

<a href="http://spisy.upv.cz/Patents/FullDocuments/304/304317.pdf" target="_blank" >http://spisy.upv.cz/Patents/FullDocuments/304/304317.pdf</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Interferometrická sestava pro diferenční měření vzdálenosti

Popis výsledku v původním jazyce

Motivace k patentu vychází ze zaměření našeho projektu na interferometrické systémy pro měření polohy, přičemž cílem aplikací je souřadnicové odměřování. V metrologii a nanometrologii je souřadnicové odměřování kombinováno s požadavkem na maximální dosažitelnou přesnost. V souřadnicovém odměřování má diferenční měření svoji roli, právě jako jedna z cest k nejvyšší přesnosti. Předmětem patentu je optická konfigurace interferometrického systému pro měření délky v jedné optické ose, přičemž poloha je odměřována v diferenciálním uspořádání. Jde tedy o měření vůči referenční ploše, rovnoběžné s měřicí plochou. Interferometr je koncipován jako dvousvazkov,ý s kompenzací malých úhlových chyb prostřednictvím koutových odražečů v měřicím i referenčním svazku. Výhodou je společná měřicí osa jak referenčních, tak měřicích svazků, což napomáhá dodržení tzv. Abbého principu při souřadnicovém odměřování. Interferometr je kompaktní konfigurace, bez externího děliče svazku a umožňuje realizaci technologií spojování na optický kontakt.

Název v anglickém jazyce

Interferometric assembly for differential measurement of distance

Popis výsledku anglicky

The motivation of the this patent comes out of the orientation of this project to interferometric systems for measurement of length. The aim of the applications is coordinate measurement. In metrology and nanometrology the coordinate measurement is combined with the demand for the ultimate precision. Differential measurement plays a role in coordinate measurement as a one approach how to measure with the highest precision. The patent deals with an optical setup of an interferometric system for measurement of length in a single optical axis while the displacement is measured in a differential configuration. It means measurement with respect to the reference surface parallel to the measuring plane. The interferometer has a two-beam arrangement with compensation of small angle errors with the help of corner-cube reflectors in the measuring and reference beams. The advantage is a single measuring axis in the reference as well as in the measuring arm which helps to preserve the Abbe principle in coordinate measuring systems. The interferometer is compact, does not need an external beamsplitter and alows manufacturing through optical contacting.

Druh

P - Patent

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/TA02010711" target="_blank" >TA02010711: Pokročilé interferometrické systémy pro měření v nanotechnologiích</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Číslo patentu nebo vzoru

304317

Vydavatel

CZ001 -

Název vydavatele

Industrial Property Office

Místo vydání

Prague

Stát vydání

CZ - Česká republika

Datum přijetí

15. 1. 2014

Název vlastníka

Ústav přístrojové techniky Akademie věd ČR, v. v. i.

Způsob využití

A - Výsledek využívá pouze poskytovatel

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence