Simulation of Space Charge Effects in Electron Optical System Based on the Calculations of Current Density

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F15%3A00451588" target="_blank" >RIV/68081731:_____/15:00451588 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1017/S1431927615013458" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1017/S1431927615013458</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1017/S1431927615013458" target="_blank" >10.1017/S1431927615013458</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Simulation of Space Charge Effects in Electron Optical System Based on the Calculations of Current Density

Popis výsledku v původním jazyce

We present a numerical method for iterative computation of electron optical systems influenced by space charge with an improved accuracy in the same calculation time. We replace the common algorithm for evaluating the space charge distribution with a newone based on the calculation of the current density distribution from an aberration polynomial. We introduce a re-meshing algorithm which adapts the mesh used for the field calculation by the finite element method in each iteration to the actual space charge distribution to keep it sufficiently fine in all areas with non-zero space charge.

Název v anglickém jazyce

Simulation of Space Charge Effects in Electron Optical System Based on the Calculations of Current Density

Popis výsledku anglicky

We present a numerical method for iterative computation of electron optical systems influenced by space charge with an improved accuracy in the same calculation time. We replace the common algorithm for evaluating the space charge distribution with a newone based on the calculation of the current density distribution from an aberration polynomial. We introduce a re-meshing algorithm which adapts the mesh used for the field calculation by the finite element method in each iteration to the actual space charge distribution to keep it sufficiently fine in all areas with non-zero space charge.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/LO1212" target="_blank" >LO1212: ALISI - Centrum pokročilých diagnostických metod a technologií</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Microscopy and Microanalysis

ISSN

1431-9276

e-ISSN

—

Svazek periodika

21

Číslo periodika v rámci svazku

S4

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

246-251

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—