Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F15%3A00452397" target="_blank" >RIV/68081731:_____/15:00452397 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii

Popis výsledku v původním jazyce

Preneztujeme zde výsledky společného projektu aplikovaného výzkumu, v němž spolupracují Ústav přístrojové techniky, Akademie věd České republik, v. v. i. a firma Meopta - optika, s.r.o. na společném vývoji vysoce přesných interferometrických systémů prodimenzioální metrologii a nanometrologii. Výzkum využívá přechozích výsledků na poli laserových normálů otpických frekvencí a metodologie interferometrických měření v metrologii délky, detekce a zpracování interferometrických signálů na ÚPT spolu s technologií zpracování otpického skla a výrobou vysoce přesných optických komponentů ve firmě Meopta - optika. Hlavním cílem projetku je návhr komplexního interferometrického měřicího systému ve formě prototypu, který bude sloužit jako váchdisko pro budoucí výrobu. Zvolená koncepce systému představuje modulární rodinu komponentů konfigurovatelnou pro různá uspořádání, zvláště pro víceosá měření v nanotechnologíích a měřeních topografie povrchů. V rámci tohoto projektu jsme vyvinuli kompaktní

Název v anglickém jazyce

Advanced interferometry systems for dimensional measurement in nanometrology

Popis výsledku anglicky

We report on the results of the common collaborative project of applied research where the Institute of Scientific Instruments (ISI) of the Academy of Sciences of the Czech Republic and a company Meopta ? optika joined their effort in development of high-precision interferometric systems for dimensional metrology and nanometrology. This research exploits previous results in the field of laser standards of optical frequencies and the methodology of interferometric metrology of length together with detection systems of interference signals and their processing at the ISI and the production technology of precise optical components at Meopta ? optika. The main aim of the project is a design of a complex interferometric measuring system in a form of a prototype serving as a master for further production. It concept is a modular family of components configurable for various arrangements primarily for multi-axis measurements in nanotechnology and surface inspection. Within this project we dev

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Jemná mechanika a optika

ISSN

0447-6441

e-ISSN

—

Svazek periodika

60

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

CZ - Česká republika

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

14-17

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—