SMV-2015-35: Vývoj testovacích preparátů pro REM

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F15%3A00453081" target="_blank" >RIV/68081731:_____/15:00453081 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

SMV-2015-35: Vývoj testovacích preparátů pro REM

Popis výsledku v původním jazyce

Výzkum a vývoj v oblasti realizace přesných reliéfních struktur pomocí mikrolitografických technik v křemíku pro testovaní zobrazování rastrovacích elektronových mikroskopů (REM). Vývoj v oblasti tvorby grafických prvků testovacích struktur. Vývoj zvýšení jakosti a přesnosti kalibračních struktur z pohledu technických postupů pro jejich přípravu.

Název v anglickém jazyce

SMV-2015-35: Development of test speciments for SEM

Popis výsledku anglicky

Research and development in the field of realisation of precise relief structure for testing imaging of scanning electron microscopes (SEM) using micro-lithographic techniques of recording in the silicon. Development in the field of creating of graphic elements of test structures. Development of improving the quality and accuracy of the calibration structures in terms of technical processes for their preparation.

Druh

V_souhrn - Souhrnná výzkumná zpráva

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

N - Vyzkumna aktivita podporovana z neverejnych zdroju

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Počet stran výsledku

4

Místo vydání

Brno

Název nakladatele resp. objednatele

TESCAN Brno s.r.o

Verze

—