Compact interferometric displacement gauge with sub-nanometer resolution and milimeter range

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F16%3A00482608" target="_blank" >RIV/68081731:_____/16:00482608 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://ieeexplore.ieee.org/document/7808489/" target="_blank" >http://ieeexplore.ieee.org/document/7808489/</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1109/ICSENS.2016.7808489" target="_blank" >10.1109/ICSENS.2016.7808489</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Compact interferometric displacement gauge with sub-nanometer resolution and milimeter range

Popis výsledku v původním jazyce

We report on the design and prototype realization of the gauge probe sensor for the measurement of displacement based on a laser interferometer. The measurement system incorporates a suitable laser source and interferometric phase processing system. The phase extraction (fringe counting) relies on a single-detector homodyne detection method for phase extraction that uses a harmonic optical frequency modulation of the laser beam and allows for a significantly reduced and thus compact and robust optical arrangement. The experimental verification revealed that the sensor system achieves the sub-nanometer precision and nanometer accuracy in the 10 mm measurement range.

Název v anglickém jazyce

Compact interferometric displacement gauge with sub-nanometer resolution and milimeter range

Popis výsledku anglicky

We report on the design and prototype realization of the gauge probe sensor for the measurement of displacement based on a laser interferometer. The measurement system incorporates a suitable laser source and interferometric phase processing system. The phase extraction (fringe counting) relies on a single-detector homodyne detection method for phase extraction that uses a harmonic optical frequency modulation of the laser beam and allows for a significantly reduced and thus compact and robust optical arrangement. The experimental verification revealed that the sensor system achieves the sub-nanometer precision and nanometer accuracy in the 10 mm measurement range.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2016

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

2016 IEEE SENSORS. Proceedings

ISBN

978-147998287-5

ISSN

1930-0395

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

3

Strana od-do

7808489

Název nakladatele

IEEE

Místo vydání

Piscataway

Místo konání akce

Orlando

Datum konání akce

30. 10. 2016

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000399395700084