SMV-2017-02: Analýza planárních mikrostruktur vytvářených kombinovaným způsobem zápisu

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F17%3A00481792" target="_blank" >RIV/68081731:_____/17:00481792 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
SMV-2017-02: Analýza planárních mikrostruktur vytvářených kombinovaným způsobem zápisu
Popis výsledku v původním jazyce
Výzkum a vývoj materiálů, technologických postupů a metodiky vytváření planárních mikrostruktur. Příprava a vyhodnocení vlastností tenkých vrstev vhodných pro zápis planárních mikrostruktur, analýza mikrostruktur na elektronovém a konfokálním mikroskopu, příprava masek na litografu pro kombinované expozice, využití dalších technologií – např. UV soukrytovačky masek, RIE a dalších, ověření navržené metodiky, vyhodnocení dosažitelných parametrů, sepsání písemné zprávy.
Název v anglickém jazyce
SMV-2017-02: Analysis of planar microstructures prepared by compound writing method
Popis výsledku anglicky
Research and development of materials, techniques and methodology for planar microstructures preparatio. Preparation and evaluation of a thin layers for planar microstructures making, analysis of microstructures using scanning electron microscopy and confocal microscopy, preparation of the masks for compound exposures by means of electron beam lithography, utiilization of UV mask aligner, RIE, etc., verification of the proposed methodology, evaluation of the final parameters.

Druh
V<sub>souhrn</sub> - Souhrnná výzkumná zpráva
CEP obor
—
OECD FORD obor
21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Podobné výsledky(10)