Correction of parasitic aberrations of hexapole corrector using differential algebra method

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F19%3A00508150" target="_blank" >RIV/68081731:_____/19:00508150 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S030439911930035X?via%3Dihub" target="_blank" >https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S030439911930035X?via%3Dihub</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.ultramic.2019.05.006" target="_blank" >10.1016/j.ultramic.2019.05.006</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Correction of parasitic aberrations of hexapole corrector using differential algebra method

Popis výsledku v původním jazyce

We demonstrate an application of the differential algebraic method in optimization of a hexapole corrector of spherical aberration for the transmission regime of the standard scanning electron microscope. We introduce the method by visualization of the effect of all correcting elements to illustrate the principle of the corrector. Special interest is given to parasitic aberrations and their correction using additional deflectors before and inside the corrector. They can alter the off-axial position and tilt of the beam in the hexapoles. The critical values of the parasitic aberration coefficients are calculated using a wave-optical method, which determines the stability of the deflection system, the lens doublet, and the hexapoles. The derived properties of the parasitic aberrations are used in an alignment procedure of the system with the corrector.

Název v anglickém jazyce

Correction of parasitic aberrations of hexapole corrector using differential algebra method

Popis výsledku anglicky

We demonstrate an application of the differential algebraic method in optimization of a hexapole corrector of spherical aberration for the transmission regime of the standard scanning electron microscope. We introduce the method by visualization of the effect of all correcting elements to illustrate the principle of the corrector. Special interest is given to parasitic aberrations and their correction using additional deflectors before and inside the corrector. They can alter the off-axial position and tilt of the beam in the hexapoles. The critical values of the parasitic aberration coefficients are calculated using a wave-optical method, which determines the stability of the deflection system, the lens doublet, and the hexapoles. The derived properties of the parasitic aberrations are used in an alignment procedure of the system with the corrector.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

20201 - Electrical and electronic engineering

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2019

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Ultramicroscopy

ISSN

0304-3991

e-ISSN

—

Svazek periodika

204

Číslo periodika v rámci svazku

SEP

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

10

Strana od-do

81-90

Kód UT WoS článku

000472485000010

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85066086944