Variabilní objektivová čočka
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F20%3A00536667" target="_blank" >RIV/68081731:_____/20:00536667 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Variabilní objektivová čočka
Popis výsledku v původním jazyce
Zpráva popisující design extenderu objektivové čočky a optické vlastností takového systému. Extender je prstenec s upínacím mechanizmem, který se umístí na spodní pól objektivové čočky skenovacího elektronového mikroskopu. Extender je vyroben z magneticky vodivého materiálu – permalloy Ni48. Pomocí extenderu se změní parametry magnetického imerzního pole objektivové čočky: maximální magnetická indukce a poloha tohoto maxima. Vedle změny parametrů magnetické finální čočky se také změní vlastnosti elektrostatické finální čočky. Pomocí extenderu je možné získat lepší laterální rozlišení a změnu v akceptaci signálních elektronů na detektorech umístěných v tubusu mikroskopu. Ve zprávě je popsán způsob optimalizace extenderu a nalezení vhodných operačních podmínek. Cílem je nalezení režimu s co nejmenší velikostí stopy svazku na vzorku se současnou optimalizovanou detekcí signálních elektronů (velká účinnost a oddělení sekundárních elektronů a zpětně odražených elektronu). Elektronově optické výpočty byly také porovnány s experimentální měření.
Název v anglickém jazyce
Variable objective lens
Popis výsledku anglicky
The report deals with the objective lens extender's design and the calculation of this system's electron-optical properties. The extender is a ring with a fixing mechanism placed on the objective lens pole piece of the scanning electron microscope's objective lens. It changes objective lens parameters: (a) value and position of maximal magnetic flux density (b) electrostatic field of the objective lens in the deceleration regime. The extender system provides better resolution and detection of signal electrons by the in-lens detector of the microscope. The report describes the extender's optimization and the scanning electron microscope's operation regime with the extender. The main goal is to reach the smallest spot size with optimized detection of signal electrons (high collection efficiency and separation of the secondary electron from the rest of spectra). We compare the results of electron-optical calculation with experimental data.
Klasifikace
Druh
O - Ostatní výsledky
CEP obor
—
OECD FORD obor
20201 - Electrical and electronic engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.