Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F22%3A00566395" target="_blank" >RIV/68081731:_____/22:00566395 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68081731:_____/21:00550696
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Korektor sférické vady používající čočku s grafénovou fólií
Popis výsledku v původním jazyce
Jedná se o novou generaci korektoru sférické aberace, který je optimalizovaný skenovací elektronový mikroskop Apreo včetně jeho integrace do tubusu primárního svazku. Princip korekce využívá diskontinuity elektrostatického pole na grafénové folii, čímž obchází podmínky Scherzerova theoremu. Při správném nastavení zbytku systému je pak možné zcela korigovat sférickou aberaci třetího řádu, aniž by došlo ke zhoršení jiných parametrů mikroskopu. Integrace korektoru do mikroskopu Apreo je a) nový kondensorový systém, který zaručuje nastavení optimálního aperturního úhlu a zvětšení, které v případě zobrazování s grafénovým korektorem výrazně odlišuje od standardního režimu, b) Mechanizmus pro měření aberací založený na 2D pixelovém detektoru.
Název v anglickém jazyce
Graphene Foil Lens Corrector
Popis výsledku anglicky
The functional sample describes a new generation of Graphene foil lens corrector optimized for scanning electron microscope Apero including the integration into the primary beam-column. The principle of correction utilizes electrostatic field discontinuity to overcome Scherzer’s theorem. In the case of the correct regime of the condenser system and objective lens, it corrects the spherical aberration of the whole microscope without perturbing other electron-optical properties. Corrector integration covers: a) a new condenser system that enables setting correct aperture angle and magnification which differs from the standard regime without a corrector, b) a new system for aberration measurement based on the 2D pixelized detector.
Klasifikace
Druh
G<sub>funk</sub> - Funkční vzorek
CEP obor
—
OECD FORD obor
20201 - Electrical and electronic engineering
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2022
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Interní identifikační kód produktu
APL-2022-16
Číselná identifikace
APL-2022-16
Technické parametry
Korektor sférické aberace a jeho integrace do mikroskopu Apreo. Jeho základní částí je elektrostatická čočka sestávající se z dvojice elektrod, na kterých lze libovolně měnit potenciál a dvou stínících elektrod. V otvoru jedné ze stínících elektrod je kruhová apertura, která je překryta tenkou grafénovou folií, která zaručuje diskontinuitu elektrostatického pole. Integrace do mikroskopu Apreo zahrnuje nový kondenzorový sytém a nový mechanizmus pro měření aberací založený na 2D pixelovém detektoru TimePix.
Ekonomické parametry
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68081731
Název vlastníka
Ústav přístrojové techniky, v. v. i., ThermoFisher Scientific Brno, a.s.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
V - Výsledek je využíván vlastníkem
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—