Kontrola čistoty povrchů optických krystalů

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F20%3A00540116" target="_blank" >RIV/68081731:_____/20:00540116 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Kontrola čistoty povrchů optických krystalů

Popis výsledku v původním jazyce

Byly provedeny analýzy povrchů optických krystalů. Kromě analýzy standardně čištěných povrchů byl testován efekt iontového čištění krystalů, který se provádí před depozicí optických vrstev. Na takto čištěných površích bylo možné identifikovat výraznou kontaminaci wolframem. Wolframové ionty se pravděpodobně vytváří ve zdroji argonových iontů a nežádoucím způsobem se implantují do povrchu krystalu. Byly použity metody SIMS a LEIS, jejichž efektivita byla ověřena. Poté byly tyto metody implementovány do Technologie kontroly čistoty povrchů optických krystalů, což se v Cryturu stalo součástí procesu monitorování výroby.

Název v anglickém jazyce

Purity control of optical crystal surfaces

Popis výsledku anglicky

Analyses of optical crystal surfaces were performed. In addition to the analysis of standardly cleaned surfaces, the effect of ion cleaning of crystals, which is performed before the deposition of optical layers, was tested. It was possible to identify strong tungsten contamination on such cleaned surfaces. Tungsten ions are probably formed in an argon ion source and are inadvertently implanted into the crystal surface. The SIMS and LEIS methods were used for detection and their effectiveness was proved, and subsequently these methods were implemented in the Optical Crystal Surface Cleanliness Control Technology, which became part of the Crytur production process monitoring.

Druh

O - Ostatní výsledky

CEP obor

—

OECD FORD obor

20201 - Electrical and electronic engineering

Projekt

<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.