Si3Nx fázová destička

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F21%3A00550697" target="_blank" >RIV/68081731:_____/21:00550697 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Si3Nx fázová destička
Popis výsledku v původním jazyce
Fázová destička z nitridu křemíku slouží ke změně fáze procházejících vysokoenergetických elektronů. Nosným substrátem tenké membrány je křemíkový čip připevněný na platinovou nebo zlatou clonku, která zároveň odstiňuje nežádoucí elektrony. Ve středu membrány je vytvořený otvor (pomocí technologie FIB/SEM), tak abychom zajistili, že nulový difrakční řád projde fázovou destičkou bez změny fáze.
Název v anglickém jazyce
Si3Nx phase plates
Popis výsledku anglicky
Silicon nitride phase plate serves as a phase shift element for high-energy electrons. Silicon is a supporting substrate for a thin membrane that is glued to a platinum or gold aperture. The aperture eliminates unwanted electrons. We made a micrometer size hole in the middle of the membrane (we used FIB/SEM technology) to guarantee that the phase of zero-order of the diffraction is not changed.

Projekt
<a href="/cs/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Centrum elektronové a fotonové optiky</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
APL-2021-05
Číselná identifikace
APL-2021-05
Technické parametry
Křemíkový čip nesoucí tenkou nitridovou membránu. Rozměr (Okénko v křemíkovém čipu) membrány je čtvercového tvaru o rozměru 100×100 µm. Tloušťka membrány je optimalizovaná tak, aby v posouvala fázi procházejícího svazku o pi/2. Čip je upevněný na platinové clonce o průměru 3 mm a ve středu clonky je malý otvor o rozměrech v jednotkách µm, který byl vytvořen pomoci FIB/SEM, tak aby odpovídal velikosti nultého řádu difrakce v zadní objektivové rovině.
Ekonomické parametry
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68081731
Název vlastníka
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i., ThermoFisher Scientific Brno, s.r.o.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
V - Výsledek je využíván vlastníkem
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)