Laserový systém 267 nm

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F23%3A00579449" target="_blank" >RIV/68081731:_____/23:00579449 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Laserový systém 267 nm

Popis výsledku v původním jazyce

Vyvinutý UV laserový zdroj s výstupní vlnovou délkou 267 nm je určený jako zdroj záření k metrologickým metodám kontroly kvality pro optickou výrobu prvků pro litografii s krátkými vlnovými délkami. Zdroj se skládá z IR čerpacího optovláknového úzkopásmového laseru, optovláknového zesilovače, první jednotky pro násobení optického kmitočtu ve waveguide provedení a druhé jednotky pro optické násobení s optickým rezonátorem a integrovaným násobícím nelineárním krystalem. Koherentní zdroj dosahuje výstupního optického výkonu > 10 mW kontinuálního záření na vlnové délce 267 nm, spektrální šířka čáry laseru je < 100 kHz.

Název v anglickém jazyce

Laser system 267 nm

Popis výsledku anglicky

The developed UV laser source with an output wavelength of 267 nm is intended as a radiation source for metrological quality control methods for optical fabrication of short wavelength lithography components. The source consists of an IR pumping narrowband optical fiber laser, an optical fiber amplifier, a first stage of optical frequency doubling unit (waveguide design), and a second optical doubling stage with an optical resonator and an integrated nonlinear crystal. The coherent source achieves an output optical power of > 10 mW of continuous radiation at 267 nm wavelength, and the spectral linewidth of the laser is < 100 kHz.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

<a href="/cs/project/FW03010232" target="_blank" >FW03010232: Laserové zdroje záření a metrologie optických soustav v DUV spektrální oblasti</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2023

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

APL-2023-05

Číselná identifikace

APL-2023-05

Technické parametry

Systém generuje kontinuální laserový svazek s vlnovou délkou 267 nm a výstupním optickým výkonem > 10 mW. Optický výstup ze systému je realizován ve volné optice. Spektrální šířka čáry výstupního svazku je < 100 kHz.

Ekonomické parametry

Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Jan Hrabina, Ph.D., shane@isibrno.cz.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

68081731

Název vlastníka

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

O - Doposud nevyužívaný výsledek

Požadavek na licenční poplatek

—

Adresa www stránky s výsledkem

—