Laserový zdroj 213 nm

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F24%3A00603688" target="_blank" >RIV/68081731:_____/24:00603688 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Laserový zdroj 213 nm
Popis výsledku v původním jazyce
Vyvinutý UV laserový zdroj s výstupní vlnovou délkou 213 nm je určený jako zdroj záření k metrologickým metodám kontroly kvality pro optickou výrobu prvků pro litografii s krátkými vlnovými délkami. Zdroj se skládá z čerpacího diodového úzkopásmového laseru pracujícího v kontinuálním režimu a s jednomodovým provozem, a z jednotky pro násobení optického kmitočtu s nelineárním krystalem umístěným v optickém rezonátoru. Koherentní zdroj dosahuje výstupního optického výkonu > 100 uW kontinuálního záření na vlnové délce 213 nm, spektrální šířka čáry laseru je < 2 MHz.
Název v anglickém jazyce
Laser system 213 nm
Popis výsledku anglicky
The developed UV laser source with an output wavelength of 213 nm is intended as a radiation source for metrological quality control methods for optical fabrication of short wavelength lithography components. The source consists of a CW single-mode narrow-linewidth diode laser and a second harmonics generation unit with nonlinear crystal integrated into an optical resonator. The coherent source achieves an output optical power of > 100 uW of continuous radiation at 213 nm wavelength, and the spectral linewidth of the laser is < 2 MHz.

Projekt
<a href="/cs/project/FW03010232" target="_blank" >FW03010232: Laserové zdroje záření a metrologie optických soustav v DUV spektrální oblasti</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění
2024
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu
APL-2024-14
Číselná identifikace
—
Technické parametry
Systém generuje kontinuální laserový svazek s vlnovou délkou 213 nm a výstupním optickým výkonem > 100 uW. Optický výstup ze systému je realizován ve volné optice. Spektrální šířka čáry výstupního svazku je < 2 MHz.
Ekonomické parametry
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Jan Hrabina, Ph.D., hrabina@isibrno.cz.
Kategorie aplik. výsledku dle nákladů
—
IČO vlastníka výsledku
68081731
Název vlastníka
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Stát vlastníka
CZ - Česká republika
Druh možnosti využití
O - Doposud nevyužívaný výsledek
Požadavek na licenční poplatek
—
Adresa www stránky s výsledkem
—

Podobné výsledky(10)