Obrábění křemenného skla DUV ultrarychlým laserem

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F25%3A00647664" target="_blank" >RIV/68081731:_____/25:00647664 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Obrábění křemenného skla DUV ultrarychlým laserem

Popis výsledku v původním jazyce

Křemenné sklo je materiál s uplatněním v celé řadě aplikací, mimo jiné i v (mikro) optice a mikrofluidice. Jednou z možností pro zvýšení detailnosti a přesnosti laserového obrábění je použití kratších vlnových délek, které umožňuje zmenšení ohniska a obvykle také zvyšují absorpci v materiálu. Tato práce studovala vliv procesních parametrů na kvalitu obrobeného povrchu a také na rychlost úběru materiálu DUV ultrarychlým laserem (257 nm, ~1 ps). Dosažena byla drsnost až Sa ≈ 200 nm a úběr materiálu 0,048 mm³∙min-1. Popsány byly i parametry vedoucí k degradaci povrchu. Pomocí zjištěných parametrů byl vytvořen demonstrátor mikro fluidického čipu potvrzující možnost uplatnění procesu pro výrobu vysoce detailních dílů.

Název v anglickém jazyce

DUV ultrafast laser processing of quartz glass

Popis výsledku anglicky

Quartz glass is a material with a wide range of applications, including (micro) optics and microfluidics. One way to increase the detail and precision of laser machining is to use shorter wavelengths, which allow for a smaller focal spot and usually also increase absorption in the material. This work studied the influence of process parameters on the quality of the machined surface and also on the material removal rate of a DUV ultrafast laser (257 nm, ~1 ps). A roughness of up to Sa ≈ 200 nm and a material removal rate of 0.048 mm³∙min-1 were achieved. The parameters leading to surface degradation were also described. Using the parameters determined, a microfluidic chip demonstrator was created, confirming the possibility of applying the process for the production of highly detailed parts.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Projekt

<a href="/cs/project/TN02000020" target="_blank" >TN02000020: Centrum pokročilé elektronové a fotonové optiky</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2025

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

LA65. Sborník příspěvků multioborové konference LASER65

ISBN

978-80-87441-37-4

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

81-85

Název nakladatele

Ústav přístrojové techniky AV ČR

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Kurdějov

Datum konání akce

19. 11. 2025

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—