Degradace a vývoj pnutí ve vrstvách a-C, a-C:H a Ti-C:H

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F01%3A00100169" target="_blank" >RIV/68378271:_____/01:00100169 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Degradation and stress evolution in a-C, a-C:H a Ti-C:H films
Popis výsledku v původním jazyce
Some observations of the stress evolution and degradations of diamond-like a-C, a-C:H and Ti-C (10-20 at.% of Ti) films deposited by magnetron sputtering of the C or Ti target in the Ar or Ar+CH4 gas mixture are presented. The compressive stress increased during several days for Ti-C:H films but not for a-C films. The growth of stress was accompanied by a decrease of optical constants n and k
Název v anglickém jazyce
Degradation and stress evolution in a-C, a-C:H a Ti-C:H films
Popis výsledku anglicky
Some observations of the stress evolution and degradations of diamond-like a-C, a-C:H and Ti-C (10-20 at.% of Ti) films deposited by magnetron sputtering of the C or Ti target in the Ar or Ar+CH4 gas mixture are presented. The compressive stress increased during several days for Ti-C:H films but not for a-C films. The growth of stress was accompanied by a decrease of optical constants n and k

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/LN00A015" target="_blank" >LN00A015: Výzkumné centrum pro optiku</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2001
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)