Study of RF discharge properties for hybrid pulsed laser deposition.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F01%3A02010321" target="_blank" >RIV/68378271:_____/01:02010321 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Study of RF discharge properties for hybrid pulsed laser deposition.

Popis výsledku v původním jazyce

We have created CN x layers by pulsed laser deposition (PLD) using graphite target in N 2 ambient and KrF excimer laser. We have found that active nitrogen plays an important role in this task. We have studied the influence of various RF parameters on the activation of nitrogen by optical emission spectroscopy.

Název v anglickém jazyce

Study of RF discharge properties for hybrid pulsed laser deposition.

Popis výsledku anglicky

We have created CN x layers by pulsed laser deposition (PLD) using graphite target in N 2 ambient and KrF excimer laser. We have found that active nitrogen plays an important role in this task. We have studied the influence of various RF parameters on the activation of nitrogen by optical emission spectroscopy.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of Workshop 2001.

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

114-115

Název nakladatele

Czech Technical University

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha [CZ]

Datum konání akce

1. 2. 2001

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—