Characterization of RF-spittered self-polarized PZT thin films for sensors arrays.

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F02%3A02020299" target="_blank" >RIV/68378271:_____/02:02020299 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Characterization of RF-spittered self-polarized PZT thin films for sensors arrays.

Popis výsledku v původním jazyce

In this work, a complex investigation of film composition, microstructure and physical properties of RF-sputtered self-polarized PZT thin filůms for IR sensor arrays was carried out. IR-radiation detector detectivity and noise equivalent temperature difference were calculated.

Název v anglickém jazyce

Characterization of RF-spittered self-polarized PZT thin films for sensors arrays.

Popis výsledku anglicky

In this work, a complex investigation of film composition, microstructure and physical properties of RF-sputtered self-polarized PZT thin filůms for IR sensor arrays was carried out. IR-radiation detector detectivity and noise equivalent temperature difference were calculated.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2002

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Vacuum

ISSN

0042-207X

e-ISSN

—

Svazek periodika

66

Číslo periodika v rámci svazku

N/A

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

473-478

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—