Studium nízkoteplotního atmosférického zdroje plazmatu pro depozici TCO tenkých vrstev na polymerní substráty

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F04%3A00100165" target="_blank" >RIV/68378271:_____/04:00100165 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Investigation of the low temperature atmospheric deposition of TCO thin films on polymer substrates
Popis výsledku v původním jazyce
Atmospheric barrier-torch discharge was used for low temperature deposition of thin conductive oxide thin films on polymer substrates. An atmospheric high-density plasma jet was excited at the outlet of the quartz nozzle with an external metallic ring electrode. InxOy and SnOx transparent and conductive films were deposited on polymer, quartz and silicon substrates by this technique
Název v anglickém jazyce
Investigation of the low temperature atmospheric deposition of TCO thin films on polymer substrates
Popis výsledku anglicky
Atmospheric barrier-torch discharge was used for low temperature deposition of thin conductive oxide thin films on polymer substrates. An atmospheric high-density plasma jet was excited at the outlet of the quartz nozzle with an external metallic ring electrode. InxOy and SnOx transparent and conductive films were deposited on polymer, quartz and silicon substrates by this technique

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/IBS1010203" target="_blank" >IBS1010203: Nové nízkoteplotní plazmatické technologie depozice tenkých vrstev za atmosférického tlaku</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2004
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)