Studium nízkoteplotního atmosférického zdroje plazmatu pro depozici TCO tenkých vrstev na polymerní substráty
Popis výsledku
Atmosférický bariérový-pochodňový výboj byl použit pro nízkoteplotní depozici tenkých a vodivých oxidových vrstev na polymerní substráty. Plazmatický kanál s vysokou koncentrací nabitých částic byl vybuzen na výstupu křemenné trysky obalené kovovou elektrodou. Průhledné a vodivé tenké vrstvy InxOy a SnOx byly připraveny na polymerní, křemenné a křemíkové substráty pomocí této technologie
Klíčová slova
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Investigation of the low temperature atmospheric deposition of TCO thin films on polymer substrates
Popis výsledku v původním jazyce
Atmospheric barrier-torch discharge was used for low temperature deposition of thin conductive oxide thin films on polymer substrates. An atmospheric high-density plasma jet was excited at the outlet of the quartz nozzle with an external metallic ring electrode. InxOy and SnOx transparent and conductive films were deposited on polymer, quartz and silicon substrates by this technique
Název v anglickém jazyce
Investigation of the low temperature atmospheric deposition of TCO thin films on polymer substrates
Popis výsledku anglicky
Atmospheric barrier-torch discharge was used for low temperature deposition of thin conductive oxide thin films on polymer substrates. An atmospheric high-density plasma jet was excited at the outlet of the quartz nozzle with an external metallic ring electrode. InxOy and SnOx transparent and conductive films were deposited on polymer, quartz and silicon substrates by this technique
Klasifikace
Druh
Jx - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2004
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Surface and Coatings Technology
ISSN
0257-8972
e-ISSN
—
Svazek periodika
177-178
Číslo periodika v rámci svazku
-
Stát vydavatele periodika
CH - Švýcarská konfederace
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
699-704
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—
Druh výsledku
Jx - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Rok uplatnění
2004