Krátkovlnná ablace molekulárních pevných látek: vlivy vlnové délky a trvání impulzu
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00025580" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00025580 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects
Popis výsledku v původním jazyce
Comparing the values of etch rates calculated for nanosecond pulses with those measured for shorter pulses, we can study the influence of pulse duration on XUV ablation efficiency. The results of the experiments also show that the ablation rate increaseswhile the wavelength decreases from the XUV spectral region toward X-rays, mainly due to increase of attenuation lengths at short wavelengths
Název v anglickém jazyce
Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects
Popis výsledku anglicky
Comparing the values of etch rates calculated for nanosecond pulses with those measured for shorter pulses, we can study the influence of pulse duration on XUV ablation efficiency. The results of the experiments also show that the ablation rate increaseswhile the wavelength decreases from the XUV spectral region toward X-rays, mainly due to increase of attenuation lengths at short wavelengths
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Microlithography Microfabrication and Microsystems
ISSN
1537-1646
e-ISSN
—
Svazek periodika
4
Číslo periodika v rámci svazku
3
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
11
Strana od-do
"033007/1"-"033007/11"
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—