Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Krátkovlnná ablace molekulárních pevných látek: vlivy vlnové délky a trvání impulzu

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00025580" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00025580 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects

  • Popis výsledku v původním jazyce

    Comparing the values of etch rates calculated for nanosecond pulses with those measured for shorter pulses, we can study the influence of pulse duration on XUV ablation efficiency. The results of the experiments also show that the ablation rate increaseswhile the wavelength decreases from the XUV spectral region toward X-rays, mainly due to increase of attenuation lengths at short wavelengths

  • Název v anglickém jazyce

    Short-wavelength ablation of molecular solids: pulse duration and wavelength effects

  • Popis výsledku anglicky

    Comparing the values of etch rates calculated for nanosecond pulses with those measured for shorter pulses, we can study the influence of pulse duration on XUV ablation efficiency. The results of the experiments also show that the ablation rate increaseswhile the wavelength decreases from the XUV spectral region toward X-rays, mainly due to increase of attenuation lengths at short wavelengths

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BH - Optika, masery a lasery

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2005

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Journal of Microlithography Microfabrication and Microsystems

  • ISSN

    1537-1646

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    4

  • Číslo periodika v rámci svazku

    3

  • Stát vydavatele periodika

    US - Spojené státy americké

  • Počet stran výsledku

    11

  • Strana od-do

    "033007/1"-"033007/11"

  • Kód UT WoS článku

  • EID výsledku v databázi Scopus