Mikroopracování organických polymerů rentgenovým fotoleptáním využívajícím zdroje záření na laserovém plazmatu generovaném s opakovací frekvencí 10 Hz
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00025861" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00025861 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Micromachining of organic polymers by X-ray photo-etching using a 10Hz laser-plasma radiation sourse
Popis výsledku v původním jazyce
The first resulty of experiments on direct photo-etching of organic polymers using a 10 Hz X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. X-ray radiation in the wavelength range from 2 to 15 nm was produced as a result of irradiation of a double-stream gas puff target with Nd:YAG laser pulses of energy 0.8 H and time duration 3 ns
Název v anglickém jazyce
Micromachining of organic polymers by X-ray photo-etching using a 10Hz laser-plasma radiation sourse
Popis výsledku anglicky
The first resulty of experiments on direct photo-etching of organic polymers using a 10 Hz X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. X-ray radiation in the wavelength range from 2 to 15 nm was produced as a result of irradiation of a double-stream gas puff target with Nd:YAG laser pulses of energy 0.8 H and time duration 3 ns
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/1P04LA235" target="_blank" >1P04LA235: Výzkum v rámci Mezinárodního centra hustého magnetizovaného plazmatu</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Microelectronic Engineering
ISSN
0167-9317
e-ISSN
—
Svazek periodika
78-79
Číslo periodika v rámci svazku
-
Stát vydavatele periodika
NL - Nizozemsko
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
452-456
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—